北京市《建设项目环境影响评价技术指南集成电路制造》DB11/T2080-2023,自2023年07月01日起实施。
本文件给出了集成电路制造建设项目环境影响评价的一般规定、技术要求和编制要求。本文件适用于集成电路制造建设项目环境影响评价和技术评估工作。
本指南为北京市地方标准,旨在规范和指导集成电路制造建设项目环境影响评价工作。本指南系统规定了评价工作的技术框架,涵盖了一般规定、技术要求与编制要求三大板块,重点对工程分析、污染源源强核算、环境影响识别与评价因子筛选、污染防治措施论证以及环境管理与监测计划等关键环节提出了细化要求。本指南强调全过程分析,从薄膜制备、光刻到封装等各生产单元,均应详尽识别废气、废水、固体废物等产排污节点,并通过物料衡算与类比实测等方法精准核算源强,确保评价结论的科学性与可靠性。
本指南要求建设项目工程分析须深度剖析主体工程、辅助工程及储运设施,并强制要求进行原辅材料平衡分析(尤其针对挥发性有机物及含重金属、砷化物等特征物质)及水平衡分析。在污染源源强核算上,本指南明确优先采用类比法或物料衡算法,并规定了对含砷及二噁英类等二次污染物的识别要求,强调需分类核算含氨、含氟及各类重金属废水的处理效率与排放去向。
本指南详细规定了废气、废水、噪声及固废的防治措施论证要求。废气方面,重点要求论证特种废气(含自燃性、毒性气体)的就地预处理工艺及挥发性有机物无组织排放控制;废水方面,严格要求含砷、镍、银等一类污染物须分类收集与分质处理。此外,本指南还突出了地下水与土壤防渗措施、有毒有害物质及危险废物贮存的环境风险防范措施的论证与分析。
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