上海市《半导体行业污染物排放标准》DB31/374-2024,2024年05月01日起实施。
本文件规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求、实施与监督等内容。本文件适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理,以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。
本文件是上海市地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB31/ 374—2024),代替DB31/374—2006版本,于2024年5月1日起正式实施。本文件规定了半导体行业水污染物和大气污染物的排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求及实施与监督等内容,适用于上海市半导体行业现有及新建企业的污染物排放管理。本次修订对标准分级进行了统一和简化,取消了大气污染物的排放速率控制方式,新增了多项污染物控制项目,收严了多项关键指标的排放限值,并增加了边界污染物监控要求和达标判定要求,旨在引导行业工艺进步和污染治理技术提升。
本文件相比2006版标准,将水污染物排放标准统一为同一级别,不再分级;同时删除了大气污染物排放速率控制方式。在控制项目上,新增了石油类、总氮、总磷、氯气、氰化氢、苯、苯系物、非甲烷总烃等水及大气污染物项目,并取消了五日生化需氧量指标。排放限值方面,收严了悬浮物、化学需氧量、氨氮、总铜、总镍等9项水污染物限值,以及硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物限值,整体管控更趋严格。
本文件要求企业按照相关技术规范建立自行监测制度,安装并运行自动监控设备,并对废水、废气的采样和分析方法作出了详细规定。在达标判定上,手工监测数据等于或小于排放限值即为达标,自动监测则以水污染物有效日均值、大气污染物有效小时均值进行判定。同时要求企业保存原始监测记录,并建立不少于五年的环境管理台账。
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