上海市《半导体行业污染物排放标准》DB31/374—2024,自2024年5月1日起实施。
本文件规定了半导体行业水污染物排放控制要求、大气污染物排放控制要求、污染物监测要求、达标判定要求、实施与监督等内容。本文件适用于半导体行业现有企业水和大气污染物排放管理,以及新建企业环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染物排放管理。
本文件为上海市地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB 31/ 374—2024),代替DB31/374—2006,是上海市针对半导体行业制定的强制性污染物排放管控规范。本文件规定了半导体行业水污染物和大气污染物的排放限值、监测方法及达标判定规则,适用于现有及新建企业的排放管理、环境影响评价、排污许可及环保验收等环节。相比旧版,本文件实行更严格的统一排放限值,取消了大气污染物排放速率控制,新增石油类、总氮、总磷、氯气、氰化氢、苯系物及非甲烷总烃等多项控制指标,并收严了化学需氧量、氨氮、总铜、硫酸雾、挥发性有机物等多项排放限值。同时,本文件新增了企业边界污染物监控要求与达标判定条款,强化了自行监测、台账记录及自动监控等全过程管理要求,体现了当前阶段对半导体行业污染治理的系统性升级。
本文件将水污染物排放标准的分级体系进行了统一,原有第一类污染物及第二类污染物的不同级别直接排放标准整合为同一限值,取消了差异化管理,提升了管控的刚性。在控制指标方面,新增了石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、总锌和综合毒性等项目,取消了五日生化需氧量,并对悬浮物、总有机碳、总氰化物、总铅、总镉、总镍等9项指标收严了限值,进一步压缩了水环境风险敞口。
本文件在大气污染物管控上做出结构性调整,取消了排放速率控制方式,全面转向浓度限值管控。新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物及氮氧化物等控制项目,并收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物的排放限值。同时,本文件对氯气、氰化氢排气筒高度提出不低于25米的硬性要求,并首次明确企业边界大气污染物的监控限值,填补了无组织逸散及厂界影响的管理空白。
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