参考《城乡规划学名词》： 

程序违法，breach of procedural law

行政机关或者法律、法规授权的组织在进行具体城乡规划管理过程中，违反城乡规划相关法律、法规、规章规定的程序规则，以及公民、法人或者其他组织在进行具体城乡规划建设过程中，未履行相关程序性义务、获取相关程序要件，均构成程序违法。

实体违法，breach of physical law

公民、法人或者其他组织的建设行为，违反城乡规划及相关法律法规或者规划许可规定的相关实体要件。